建設地點

廣東廣州番禺區(qū)華南理工大學廣州國際校區(qū)

建設單位

華南理工大學

項目概況

華南理工大學廣州國際校區(qū)微納電子平臺改造工程擬選址于番禺區(qū)興業(yè)大道華南理工大學廣州國際校區(qū)內建設，申報建設內容為建設1個微納電子平臺進行微納電子工藝實驗、微納電子測試、微納電子封裝工藝實驗、微納電子仿真實驗，計劃年實驗微納電子工藝110次、微納電子測試300次、微納電子封裝工藝90次、微納電子仿真400次。

環(huán)評機構

廣州市番禺環(huán)境科學研究所有限公司

主要環(huán)境影響及預防或減輕不良環(huán)境影響的對策和措施

一、CVD沉積實驗、PVD濺射實驗、PVD電子束蒸發(fā)實驗、刻蝕實驗等工序均在全封閉設備內操作；CVD沉積實驗（PEALD原子層沉積系統(tǒng)）與刻蝕實驗設備（多晶硅刻蝕機、通用電感耦合等離子體反應離子刻蝕機、深反應離子刻蝕機）經1#Scrubber（電加熱分解燃燒+水洗）廢氣處理設備預處理；CVD沉積實驗（有機金屬化學氣相沉積系統(tǒng)）經2#Scrubber（電加熱分解燃燒+水洗）廢氣處理設備預處理；刻蝕實驗設備（高溫電感耦合等離子體刻蝕機）經“1#酸堿中和濕式處理設備”預處理；CVD沉積實驗（LPCVD介質材料生長設備）經本地處理系統(tǒng)（等離子體燃燒+水洗）預處理；三氯化硼氣體間、氯氣間經“2#酸堿中和濕式處理設備”預處理；酸洗清洗實驗與堿洗實驗產生的廢氣經通風櫥收集；上述各股經預處理后的廢氣連同PVD濺射實驗、PVD電子束蒸發(fā)實驗設備產生的廢氣進入“堿液噴淋塔”處理后由不低于15米高排氣筒排放。有機溶劑清洗和光刻實驗中（顯影）產生的有機廢氣經通風櫥收集后送至樓頂經“1#二級活性炭”裝置處理，由不低于15米高排氣筒排放。光刻實驗（涂膠）、靜電紡絲和高精度3D噴印產生的有機廢氣經通風櫥收集后送至樓頂經“2#二級活性炭”裝置處理，由不低于15米高排氣筒排放。離子注入機、MPECVD碳基材料沉積設備、PECVD等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)實驗產生廢氣的收集后經3#Scrubber（電加熱分解燃燒+水洗）廢氣處理設備處理，引至不低于15米高排氣筒排放。真空高溫退火爐、硅烷間、氨氣間產生的廢氣收集后經4#Scrubber（電加熱分解燃燒+水洗）廢氣處理設備處理，引至不低于15米高排氣筒排放。微毒氣體間、氫氣間產生的廢氣收集后經5#Scrubber（電加熱分解燃燒+水洗）廢氣處理設備凈化處理，引至不低于15米高排氣筒排放。
二、實驗清洗廢水、實驗器皿后續(xù)清洗廢水、地面清洗廢水、堿液噴淋廢水、水噴淋廢水、Scrubber廢氣處理設備（電加熱分解燃燒+水噴淋）水噴淋廢水、本地廢氣處理設備（等離子體燃燒+水噴淋）水噴淋廢水、堿中和濕式處理設備噴淋廢水經管網(wǎng)收集后進入自建污水處理設施經“微電解+氯化鈣沉淀+光催化+絮凝+MBR+消毒”工藝處理后；生活污水經三級化糞池預處理后連同純水制備廢水等清凈下水一同排入南村凈水廠做進一步處理。
三、做好設備維護，定期對設備進行檢修和保養(yǎng)；選用低噪聲儀器，加強設備日常維護與保養(yǎng)，通風櫥、風機等高噪聲設備底部安裝減震墊，并且定期檢查；實驗室門窗部位選用隔聲性能良好的鋁合金結構，合理布局噪聲源，分散布局較強的噪聲源，將實驗室與辦公區(qū)分開布置；實驗室高噪聲設備盡量遠離辦公區(qū)。
四、項目生活垃圾、污水處理站污泥交由環(huán)衛(wèi)部門清運處理；廢金屬靶、廢蒸發(fā)材料、不沾染化學品的廢包裝材料及碎玻璃、純水制備系統(tǒng)產生的廢活性炭和廢RO膜交由物資回收單位回收處理；廢酸液、廢堿液、廢有機液、廢光刻膠、廢顯影液、廢無塵布、刻蝕沖洗廢水、研磨拋光有機廢水、廢芯片、廢氣處理設施產生的廢活性炭、沾染化學試劑廢包裝材料、廢UV燈管、含油廢抹布及手套，均屬于《國家危險廢物名錄》（2025版）中的危險廢物，分類收集后交由有危廢資質的單位回收處理。

公眾參與情況